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鲍尔森似乎也听出了齐磊的不信任,可是,他冤啊!冤死了!
“真的,这次我真的用心去查了!”
有点怒了,“我查了很多,我甚至查了他们的账,以及资金往来。几个成员会议我也在查,我甚至找到了参会人员的飞机票和入境记录。”
“比如,EUVLLC的成员集体向阿斯麦注资了一大笔钱,这次主要的研发任务就在阿斯麦。”
“比如,英特尔,还有米国三大实验室的专家,集体进驻了阿斯麦和台积电。”
“再比如,不知道为什么,这次台积电的地位好像发生了变化,他们似乎比英特尔更加重要。”
“再再比如……”
“停!”齐磊打断,“你是说…台积电很重要?”
鲍尔森呆愣,“对啊!”
齐磊目光一凝,似乎抓住了什么,急忙问道,“关于台积电,还有什么反常的举动吗?”
鲍尔森,“怎么了?”
齐磊,“少废话,告诉我有还是没有!”
鲍尔森那边立时传来哗啦啦的翻找声,显然鲍尔森要再看一眼资料。
“有!
”
“都是什么?”
鲍尔森,“首先,台积电取消了一笔光刻机订单,是和尼康的。”(这个时期,光刻机还是尼康的天下。)
“还有,台积电扩建了超纯水的处理系统,订单给了米国的一家设备公司。”
“还有!”沉吟半晌,“还有,台积电派出的专家团队有一个人很特别。”
齐磊听到这里,眼中直冒绿光,一段几乎被遗忘的记忆在脑中渐渐清晰。
迫不及待,“有多特别!?”
鲍尔森,“这个人不是某个领域的专家,也不是台积电的关键技术工程师,他只是…只是一个车间的技术员?”
说到这儿,鲍尔森又气馁了,“你瞧,我真的在查!可是,这些都没什么用啊!”
他却不知道,电话那头的齐磊已经有答桉了——浸润式光刻机!
EUVLLC当下在搞的技术攻关,就是浸润式光刻机,也就是湿刻法。
就在鲍尔森还懵着的时候,齐磊滴的一声把电话挂了。
鲍尔森人傻了,什么情况?断线了?
再给齐磊拨过去,那边却是占线。
齐磊的电话是打给拜伦.奥古斯特的。
刚一接通,齐磊的问题连珠炮似的打出去。
“台积电今年有增产计划吗?他们退订了尼康的光刻机,却扩建了净水规模,这合理吗?”
“还有,你听没听说过湿刻法?”
拜伦就喜欢老板这么直来直去的,而且是在他擅长的领域,一点不废话。
“据我所知,台积电没有增产计划。”
“第二,都退订了,还要那么多水干什么?有病啊?”
“第三,什么是湿刻法?你又不懂技术,别瞎出主意!”
齐磊,“挂了!”
现在,他可以基本确定,EUVLLC就是在搞湿刻。
在湿刻法,也就是浸润式光刻机出来之前,几大光刻机厂家,包括尼康、阿斯麦等等,都是干刻。
所谓光刻,就是把光打在掩模板上,再投射到晶圆上面,使得晶圆上的光学胶水发生反应,行程电路的过程。
干刻时代,从光源到掩模板再到晶圆是在气体介质中完成光刻的,极限就是193纳米。